讲座题目：“中国芯“制造面临挑战和机会

主讲人：吴汉明院士

时间：2020年12月14日15:30

地点：信息科学实验楼202报告厅

主办单位：信息与电子学院 校科协

主讲人简介：

吴汉明，中国工程院院士，浙江大学微纳电子学院院长。芯创智（北京）微电子有限公司董事长。

吴汉明院士，1976年毕业于中国科学技术大学；1987年毕业于中国科学院力学研究所，获博士学位。曾在美国UC-Berkeley进行博士后研究，并先后入职Intel、中芯国际等公司作为技术骨干从事集成电路制造工艺研发，曾任中芯国际研发副总裁。

吴汉明院士长期工作在我国集成电路产业链重要环节，并作出突出贡献。主持、指导了包括国家重大专项的0.13微米至14纳米七代芯片工艺研发，负责攻克了包括刻蚀等一系列关键工艺难点，工艺集成后实现产业化。突破了长期以来我国高端芯片工艺完全依赖进口的制约，与世界水平差距明显缩小。负责我国首台刻蚀机研发项目的理论工作，并成功产业化。建立的非平衡低温等离子体混合模型/整体模型成为工艺理论依据，并作为教案被世界著名大学公开发行的教科书采用。发表著作论文116篇。授权发明专利67项。曾获得“北京学者”、“十佳全国优秀科技工作者” 和“全国杰出专业技术人才”等荣誉。作为主要成员，三次获国家科技二等奖，多次获省部科技奖。